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「半導体立国」日本 : 独創的な装置が築きあげた記録

日本半導体製造装置協会編. -- 日刊工業新聞社, 1991. <BB01062764>

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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 禁帯出区分 状態 返却予定日 予約
0001 図書館 書庫B1 549.8//28 0110899739 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 図書館
配置場所 書庫B1
請求記号 549.8//28
資料ID 0110899739
禁帯出区分
状態
返却予定日
予約 0件

書誌詳細

タイトル/著者名等 「半導体立国」日本 : 独創的な装置が築きあげた記録 / 日本半導体製造装置協会編
ハンドウタイ リッコク ニホン : ドクソウテキ ナ ソウチ ガ キズキアゲタ キロク
出版事項 東京 : 日刊工業新聞社 , 1991.11
形態事項 xii, 403p ; 20cm
巻号情報
ISBN 4526030422
注記 監修: 垂井康夫
NCID BN07021660
本文言語 日本語
著者標目 日本半導体製造装置協会||ニホン ハンドウタイ セイゾウ ソウチ キョウカイ <AU00066953>
分類 電子工学 NDC8:549.8
件名 半導体||ハンドウタイ
件名 半導体||ハンドウタイ