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マイクロ加工の物理と応用

吉田善一著. -- 裳華房, 1998. -- (応用物理学選書 ; 8). <BB01153141>
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マイクロ加工の物理と応用

吉田善一著. -- 裳華房, 1998. -- (応用物理学選書 ; 8). <BB01153141>
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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 禁帯出区分 状態 返却予定日 予約
0001 図書館 大学自然科学 420.8//11 0111694865 可 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 図書館
配置場所 大学自然科学
請求記号 420.8//11
資料ID 0111694865
禁帯出区分 可
状態
返却予定日
予約 0件
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書誌詳細

タイトル／著者名等 マイクロ加工の物理と応用 / 吉田善一著
マイクロ カコウ ノ ブツリ ト オウヨウ
出版事項 東京 : 裳華房 , 1998.3
形態事項 x, 234p ; 22cm
巻号情報
ISBN 4785325089
シリーズ名等 応用物理学選書||オウヨウ ブツリガク センショ <BB01152989> 8//a
その他のタイトル その他のタイトル:The physics and technology of microfabrication
注記 欧文標題は標題紙裏による
注記 付: 参考文献, 参考書
NCID BA35144601
本文言語 日本語
著者標目 吉田, 善一(1957-)||ヨシダ, ヨシカズ <AU00147715>
分類 電子工学 NDC8:549.7
分類 電子工学 NDC9:549.7
分類 電子工学 NDC9:549.8
分類 科学技術 NDLC:ND371
件名 集積回路||シュウセキカイロ
件名 電子光学||デンシコウガク
件名 半導体||ハンドウタイ
件名 機械工作||キカイコウサク
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