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IEEE/SEMI Advanced Semiconductor Manufacturing Conference and Workshop : ASMC '91 proceedings, October 21-23, 1991, Boston, Massachusetts

: soft., : case., : micro.. -- Institute of Electrical and Electronics Engineers, 1991. <BB02018373>
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IEEE/SEMI Advanced Semiconductor Manufacturing Conference and Workshop : ASMC '91 proceedings, October 21-23, 1991, Boston, Massachusetts

: soft., : case., : micro.. -- Institute of Electrical and Electronics Engineers, 1991. <BB02018373>
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所蔵一覧 1件～1件（全1件）

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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 禁帯出区分 状態 返却予定日 予約
0001 図書館 洋プラ下層 549.8//F1 0121124523 可 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 図書館
配置場所 洋プラ下層
請求記号 549.8//F1
資料ID 0121124523
禁帯出区分 可
状態
返却予定日
予約 0件
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書誌詳細

標題および責任表示 IEEE/SEMI Advanced Semiconductor Manufacturing Conference and Workshop : ASMC '91 proceedings, October 21-23, 1991, Boston, Massachusetts
出版・頒布事項 New York, NY, U.S.A. : Institute of Electrical and Electronics Engineers
出版・頒布事項 Piscataway, NJ, USA : Additional copies may be purchased from IEEE Service Center , c1991
形態事項 x, 212 p. : ill. ; 28 cm
巻号情報
巻次等 : soft.
ISBN 0780301528
巻号情報
巻次等 : case.
ISBN 0780301536
巻号情報
巻次等 : micro.
ISBN 0780301544
その他の標題 異なりアクセスタイトル:91CH30429
注記 "sponsored by: Semiconductor Equipment and Materials International, Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc.(IEEE), IEEE Electron Devices Society, IEEE Components, Hybrids and Manufacturing Technology Society"--cover
注記 Includes bibliographical references
注記 "IEEE catalog number 91CH3042-9"--T.p. verso
学情ID BA13832699
本文言語コード 英語
著者標目リンク IEEE/SEMI Advanced Semiconductor Manufacturing Conference and Workshop <AU00104415> (2nd : 1991 : Boston)
著者標目リンク Institute of Electrical and Electronics Engineers <AU00024262>
著者標目リンク Semiconductor Equipment and Materials International <AU00096595>
分類標目 LCC:TK7836
分類標目 DC20:621.381/52
件名標目等 Electronic industries -- Congresses
件名標目等 Semiconductors -- Design and construction -- Congresses
件名標目等 Computer integrated manufacturing systems -- Congresses
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