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マイクロ加工の物理と応用
吉田善一著. -- 裳華房, 1998. -- (応用物理学選書 ; 8). <BB01153141>
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マイクロ加工の物理と応用
吉田善一著. -- 裳華房, 1998. -- (応用物理学選書 ; 8). <BB01153141>
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No.
巻号
所蔵館
配置場所
請求記号
資料ID
禁帯出区分
状態
返却予定日
予約
0001
図書館
大学自然科学
420.8//11
0111694865
可
0件
No.
0001
巻号
所蔵館
図書館
配置場所
大学自然科学
請求記号
420.8//11
資料ID
0111694865
禁帯出区分
可
状態
返却予定日
予約
0件
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書誌詳細
標題および責任表示
マイクロ加工の物理と応用 / 吉田善一著
マイクロ カコウ ノ ブツリ ト オウヨウ
出版・頒布事項
東京 : 裳華房 , 1998.3
形態事項
x, 234p ; 22cm
巻号情報
ISBN
4785325089
書誌構造リンク
応用物理学選書||オウヨウ ブツリガク センショ <BB01152989> 8//a
その他の標題
その他のタイトル:The physics and technology of microfabrication
注記
欧文標題は標題紙裏による
注記
付: 参考文献, 参考書
学情ID
BA35144601
本文言語コード
日本語
著者標目リンク
吉田, 善一(1957-)||ヨシダ, ヨシカズ <AU00147715>
分類標目
電子工学 NDC8:549.7
分類標目
電子工学 NDC9:549.7
分類標目
電子工学 NDC9:549.8
分類標目
科学技術 NDLC:ND371
件名標目等
集積回路||シュウセキカイロ
件名標目等
電子光学||デンシコウガク
件名標目等
半導体||ハンドウタイ
件名標目等
機械工作||キカイコウサク
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